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      • SE-VE光譜橢偏儀
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        SE-VE光譜橢偏儀

        SE-VE光譜橢偏儀基于單旋轉補償器調制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實(shí)現基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數的快速分析表征

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